- 產(chǎn)品描述
兩聯(lián)三通氣動隔膜閥
閥體
316L VIM-VAR不銹鋼閥體材料,用于超高純應(yīng)用。
內(nèi)表面粗糙度可達Ra 5 μ in,完全可清掃流道。
將兩個LD或HD系列隔膜閥合二為一，通過共同的流路Z大。
限度縮小了死區(qū),而且脫氣性優(yōu)異。
在保持原有閥門基本性能的同時，通過同類或異類組合。
可以設(shè)計出Z緊湊的配管系統(tǒng)。
可以根據(jù)配管布局選擇Z合適的流路系統(tǒng)，配管配置,接頭種類。
可以設(shè)計制作三聯(lián)以上的特殊規(guī)格的多聯(lián)隔膜閥。
隔膜
鈷基超級合金(UNS R30003)材料可提供高強度和耐腐蝕性能。
Z優(yōu)設(shè)計,使用壽命長。
閥座
全封閉式閥座設(shè)計具有以下優(yōu)點:
優(yōu)秀的抗膨脹和防污染能力;
改進的氦氣泄露測試性能;
極少生產(chǎn)顆粒;
使用壽命長。
高清潔的組裝和包裝適用于高純潔度半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。
每一個產(chǎn)品出廠都經(jīng)過氦氣測試。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 主要規(guī)格 | ||||
| 端接規(guī)格 | 1/4" | 3/8",1/2" | ||
| 流量系數(shù)(Cv) | 0.22 | 0.7 | ||
| Z高使用壓力 | 低壓:300pisg(20.7bar);高壓:3000pisg(207bar) | |||
| 工作溫度 | PCTFE | -40°C-80°C(-40° F-176° F) | ||
| PEA, Vespel | -26°C-177°C(-15° F-350° F) | |||
| 閥體內(nèi)漏率 | 1x10?? sccs He | |||
| 閥體外漏率 | 1x10?? sccs He | |||
| 產(chǎn)品等級 | |||
| 等級 | BA | EP | SEP |
| 閥體材質(zhì) | SS316L | SS 316LVAR | |
| 內(nèi)表面粗糙度 | Ra 10 μ in | Ra 5 μ in | |
| 研磨 | 機械研磨加工 | 電解研磨加工 | |
| 清洗 | 脫脂清洗+精密清洗 | ||
| 包裝 | 單層 | 雙層 | |
| 產(chǎn)品材質(zhì) | |
| 閥體 | SS 316L/A479, SS316L / VAR/SEMIF20-0305 |
| 隔膜 | 鈷基超級合金/ UNS R30003 |
| 閥座 | PCTFE, PFA,Vespel |
編碼規(guī)則
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